![](/static/images/main/service/service.jpg)
Speciality Gas
특수가스는 매우 희귀하거나, 순도가 높은 가스로써 일반적으로 반도체,디스플레이 산업에서 주로 사용됩니다.
MS머트리얼즈는 CH3CL, HCL, DMA, TCS, STC, DCS 등을 안정적으로 공급하고 있습니다.
![TCS](/static/images/main/product/tcs.jpg)
염화수소 냄새를 내는 무색의 액화가스 폭발성 물질은 아니나 아세토니트릴과 디페닐설폭사이드에는 폭발성 반응이 일어남. 알코올,아민,산화금속,과산화물 등에 격렬하게 반응하며 금속에는 부식성 반응을 일으킴
- 용도
- 화학기상, 에피텍셜 실리콘 증착 (CVD공정 / EPI)
- CYLINDERS
- 60L(60KG) / 210L(250KG)
자극성이 강한 냄새를 가진 무색 투명의 액화가스 부식성 물이나 습한 공기와 반응하며 염화수소와 폴리머릭 실옥산을 생성하며, 자연 점화될 수 있음 공기와 혼합물은 밀폐공간에서 가열시 폭괴을 일으킬 수 있음
- 용도
- 반도체 제조공정에서 질화막(SiN)증착 / Precursor 합성원료
- CYLINDERS
- 10L(9KG) / 40L(35KG) / 44L(41KG) / 440L(450KG) / 995L(900KG)
![DMA](/static/images/main/product/dma.jpg)
비린 생선냄새를 내는 무색의 투명한 수용성 액체 과산화물질과 반응하면 과산화물질들이 격력히 분해하여 폭발성 물질을 형성할 수 있음 산, 금속, 할로겐, 가연성 물질, 산화제등과 혼합 금지
- 용도
- 고무약품 원료(가황촉진제, 노화방지제) / 제지약품 및 수처리계 / Precursor 합성원료
- CYLINDERS
- 47L(23KG)
![STC](/static/images/main/product/stc.jpg)
질식성 냄새를 내는 무색의 투명한 액화가스 물에 발열 반응하여 고 부식성 불화수소산과 규산을 생성
- 용도
- 테트라알콕시실란 및 실리카 섬유 광학 도파관의 제조 / 실리카 및 염화수소의 원료 / 합성고무 첨가제
- CYLINDERS
- 47L(30KG) / 60L(60KG)
자극성이 강한 냄새를 가진 무색의 액화가스 물과 격렬히 반응하여 열과 독성/부식성/가연성 기체를 방출 강한 부식성을 가짐
- 용도
- 에칭, LCD용 약품, 폴리실리콘 제조 / 금속표면 처리 및 수처리제 / 농약, 염료, 염화철 등 제조에 사용
- CYLINDERS
- 49L(25KG) / 900L(500KG)
![MC](/static/images/main/product/mc.jpg)
에테르 냄새를 가진 무색투명의 액화가스 금속, 할로겐과 혼합 금지 열분해 시 포스겐, 산 할로겐 화합물, 탄소 산화물을 생성
- 용도
- 유기합성(부틸고무,실리콘수지, 메틸셀롤로오스 제조) / 추출제,저온용용제,냉동제(냉매) / 의약,농약,발포제,불연성필름
- CYLINDERS
- 1175L(940KG)